Петербургские ученые создали комплекс для выпуска микроэлектронных наноструктур

Ученые Санкт-Петербургского политехнического университета (СПбПУ) разработали импортозамещающий технологический комплекс, на котором создаются наноструктуры, нужные для работы разного микроэлектронного оборудования.
Как пишут «РИА Новости», комплекс состоит из двух частей. Первая – промышленный образец установки безмасочной нанолитографии, а вторая – образец установки плазмохимического травления кремния.
Разработка комплекса поможет решить вопрос технологического суверенитета РФ в сфере микроэлектроники.
Эксперты СПбПУ планируют внедрить машинное обучение на обе установки и продолжить создание технологий и для силовой электроники.
Ранее российские ученые создали систему, которая проверит защиту ИИ к кибератакам.