
Нижегородские ученые работают над созданием литографа для микроэлектронного производства
Нижегородские ученые разрабатывают литограф – миниатюрный «рисунок» на кремниевой основе у чипа для микроэлектронного производства, передаёт pravda-nn.ru со ссылкой на «Стратегию развития Нижегородской области».
О разработке стало известно во время форума «Микроэлектроника 2022»: нижегородская делегация презентовала демоверсию установки литографии, которую изготовили в ИПФ РАН.
«Процесс литографии немного напоминает театр теней, когда есть направленный свет, непрозрачная преграда и полотно, на котором появляется получившееся изображение, – говорится в сообщении. – Так и в литографе есть источник излучения – например, ультрафиолетового или рентгеновского, которое проходит через специальную оптику и специальный трафарет, называемый маской, а затем ее «узор» проецируется на подложку».
Нижегородская разработка основана на рентгеновском источнике излучения. Эффективность нижегородской установки превышает качество голландской в полтора-два раза. Окончательно совершенствование литографа планируют завершить в 2028 году.
Ранее Петербургский дневник» сообщал, что нижегородские ученые разработали сверхпрочный материал для космических кораблей.